Развој ултра прецизних машина алатки је важан предуслов за развој ултра прецизне машинске обраде. Последњих година, развијене земље су успешно развиле разне напредне ултра-прецизне алатне машине за обраду. Правац развоја ултра прецизних машина алатки је даље побољшање тачности ултра прецизних машина алатки, развој великих ултра прецизних машина алатки и развој мултифункционалних и високо ефикасне посебне намене ултра прецизних машина алатки.
Сједињене Државе, Британија, Немачка и друге земље почеле су да производе ултра прецизне машине алатке 1970-их (Јапан 1980-их) и могу да их испоручују у серијама. Што се тиче ултра прецизних машина алатки великих размера, Национална лабораторија ЛЛЛ у Сједињеним Државама успешно је развила два ултра прецизна дијамантска струга великих размера 1986: један је хоризонтални ДТМ{8}} дијамантски струг са пречником обраде од 2,1м, а други је пречник обраде 1,65м. ЛОДТМ Вертикални велики оптички дијамантски струг. Међу њима, ЛОДТМ вертикални велики оптички дијамантски струг је препознат као ултра прецизна машина алатка са највећом прецизношћу на свету. Сједињене Државе су касније развиле велику ЦНЦ машину за прецизно брушење са 6-осом за прецизно брушење великих оптичких огледала.
Британски Цранфиелд Прецисион Мацхининг Центер је 1991. године успешно развио ОАГМ-2500 мултифункционалну трокоординатну ЦНЦ машину за брушење (површина стола 2500 мм × 2500 мм), која може да обрађује (брушење, стругање) и мери прецизне површине слободног облика. Машина алатка усваја методу спајања радних комада, а може да обрађује и велика огледала пречника 7,5м у астрономским телескопима.
Јапанске мултифункционалне и високоефикасне ултра-прецизне машине алатке посебне намене су се брзо развиле, што је одиграло добру улогу у промовисању развоја јапанске индустрије микроелектронике и кућних апарата.