Технологија микромашинске обраде је веома флексибилан процес, који може произвести микро компоненте сложених облика. Поред тога, може се применити на широк спектар материјала. Његова прилагодљивост чини га посебно погодним за брз рад од идеје до прототипа, производњу сложених 3Д структура и итеративни дизајн и развој производа,
1. Технологија физичке микромашинске обраде
Обрада ласерским снопом: процес обраде који користи топлотну енергију вођену ласерским зраком за уклањање материјала са металних или неметалних површина. Погоднији је за крхке материјале са ниском проводљивошћу, али се може користити за већину материјала.
Обрада јонским снопом: важна неконвенционална производна технологија за микро/нано производњу. Користи убрзани проток јона у вакуумској комори за уклањање, додавање или модификовање атома на површини објекта.
2. Технологија хемијске микромашинске обраде
Реактивно јонско јеткање (РИЕ): процес плазме у коме се супстанце побуђују РФ пражњењем на супстрате или филмове у нисконапонској комори. То је синергијски процес хемијски активних супстанци и високоенергетског јонског бомбардовања.
Електрохемијска обрада (ЕЦМ): метода уклањања метала електрохемијским процесима. Обично се користи за производњу великих размера и обраду изузетно тврдих материјала или материјала који се тешко обрађују традиционалним методама. Његова употреба је ограничена на проводне материјале. ЕЦМ може да сече мале или неправилне углове, сложене контуре или шупљине у тврдим и ретким металима.
3. Технологија механичке микромашинске обраде
Дијамантско стругање: процес стругања или машинске обраде прецизних компоненти на стругу или машини за производњу која је опремљена природним или синтетичким дијамантским сврдлом.
Дијамантско глодање: процес сечења који се може користити за стварање низа асферичних сочива кружним резањем помоћу сферног дијамантског алата.
Прецизно брушење: абразивна обрада која омогућава да се радни предмет обради у фину завршну обраду површине и са веома блиском толеранцијом од 0.0001 ".
Полирање: абразивна обрада, полирање аргон јонским снопом је прилично стабилан процес, који се користи за завршну обраду огледала телескопа и исправљање заосталих грешака механичког полирања или оптичких уређаја за окретање дијаманата. МРФ процес је први детерминистички процес полирања. Комерцијализован и користи се у производњи асферичних сочива, рефлектора итд.
